●流量監視に優れ、双方向計測も可能です。

【用途説明】

●設備や塗装エアの消費流量管理。●半導体製造装置パージガスの流量管理。●イオナイザの流量管理。●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。●ノズルやフィルタの目詰まり検知。

【仕様説明】

●最高使用圧力：0．7MPa●最低使用圧力：-0．09MPa●使用流体温度：0～50℃●適応流体：清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン・炭酸ガス)●精度保証範囲：3～100％F．S．●直線性：±3％F．S．以下●応答時間：50ms以下●EMC指令適合品●容器保護等級：IP40●アナログ出力：電圧1～5V●SW出力：2点

【使用上の注意説明】

●計量法に適合していませんので、工業用センサとして使用してください。●一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルタを設置してください。●表示機能分離タイプもございます。